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TGA-323 HCl高精度痕量氣體分析儀
簡單介紹：
高精度痕量氣體分析儀（TGA-323）是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測量氯化氫(HCl)而設(shè)計的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測下限可達(dá)ppt級別。不需要現(xiàn)場校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測量。
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