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TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀
簡單介紹：
高精度痕量氣體分析儀（TGA-321）是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測量氨氣(NH3)而設(shè)計的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測下限可達ppt級別。不需要現(xiàn)場校準，非常適合連續(xù)測量。
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